機械本體經FEM分析之高剛性箱型結構，小行程大滑軌垮距及使用Ball Retainer線性滑軌，提供超高精度超深冷處理之C1級滾珠導螺桿，搭配高解析度AC伺服馬達可實際1umm之微距進給，自動控制之加工槽液位控制系統，達到無人化操作之便利。

採用C1等級滾珠導螺桿及超精密級線性滑軌間距離及採用高應答之AC伺服馬達傳動系統以達到1µmm的移動精度。

V650 的X軸位置精度 (使用雷射測量系統校正後)

移位精度採用雷射校正儀校正機械移動精度